Uppgufunarefni, svo sem málmar, efnasambönd osfrv. Eru settir í deiglan eða hengdu á heitu vírinu sem uppgufunartæki, og hvarfefni sem á að vera plata, svo sem málmar, keramik, plast osfrv. Eru sett fyrir framan deiglan. Eftir að kerfið er dælt í háu lofttæmi, er efnið gufað upp með því að hita deiglan. Atómin eða sameindin í uppgufunarefninu eru afhent á yfirborði undirlagsins á þéttan hátt. Filmþykkt getur verið allt frá hundruð angstróma til nokkurra míkrona. Filmþykktin er ákvarðaður með uppgufunartíðni og tíma uppgufunargjafans (eða fer eftir hleðslugjaldinu) og tengist fjarlægðinni milli upptökunnar og undirlagsins. Fyrir stórt svæði lag er oft notað rotandi hvarfefni eða margar uppgufunaraðferðir til að tryggja einsleitni kvikmyndarþykktarinnar. Fjarlægðin frá uppgufunartækinu við undirlagið ætti að vera minna en meðaltal frjáls leið gufueindanna í leifargasi þannig að gufuefnisolíur séu ekki í sambandi við leifar sameinda í leifum til að valda efnafræðilegum viðbrögðum. Meðal hreyfiorka gufu sameinda er um það bil 0.1-0.2 rafeindatengdar.
Uppgufunarefni, svo sem málmar, efnasambönd osfrv. Eru settir í deiglan eða hengdu á heitu vírinu sem uppgufunartæki, og hvarfefni sem á að vera plata, svo sem málmar, keramik, plast osfrv. Eru sett fyrir framan deiglan. Eftir að kerfið er dælt í háu lofttæmi, er efnið gufað upp með því að hita deiglan. Atómin eða sameindin í uppgufunarefninu eru afhent á yfirborði undirlagsins á þéttan hátt. Filmþykkt getur verið allt frá hundruð angstróma til nokkurra míkrona. Filmþykktin er ákvarðaður með uppgufunartíðni og tíma uppgufunargjafans (eða fer eftir hleðslugjaldinu) og tengist fjarlægðinni milli upptökunnar og undirlagsins. Fyrir stórt svæði lag er oft notað rotandi hvarfefni eða margar uppgufunaraðferðir til að tryggja einsleitni kvikmyndarþykktarinnar. Fjarlægðin frá uppgufunartækinu við undirlagið ætti að vera minna en meðaltal frjáls leið gufueindanna í leifargasi þannig að gufuefnisolíur séu ekki í sambandi við leifar sameinda í leifum til að valda efnafræðilegum viðbrögðum. Meðal hreyfiorka gufu sameinda er um það bil 0.1-0.2 rafeindatengdar.
Það eru þrjár gerðir af uppgufunartækjum. (1) Upphitunartæki: Eldfastur málmur, svo sem wolfram eða tantal, er notað til að mynda bát filmu eða filament, sem er hituð með rafstraumi, hitað yfir það eða sett í deiglunni (mynd 1 [Skýringarmynd af uppgufun húðunartæki]). Upptökin eru aðallega notuð til að gufa upp Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni og önnur efni. 2 Upptökuvökvi með miklum tíðni: Notaðu hátíðni innleiðslustraum til að hita helíum og vökva. 3 Rafgeislahitunargjafi: Hentar fyrir efni með mikla uppgufunartíma (ekki minna en 2000 [618-1]), það er að sprengja efni með rafeindabjálka til að gufa upp.